數(shù)字式四探針測試計(jì)/數(shù)字式四探針測試儀 型號:SZB-SX1934
產(chǎn)品點(diǎn) 四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)*的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試用儀器。 儀器以大規(guī)模集成電路為核心件,采用旋扭式開關(guān)控制,及各種作狀態(tài)LED示。應(yīng)用微計(jì)算機(jī)術(shù),使得測量讀數(shù)更加直觀、快速。整套儀器體積小、耗低、測量精度、測試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。 測量范圍 電阻率/Range:10-4—105Ω/□(可擴(kuò)展/extended range) 方塊電阻(薄層電阻) /Sheet resistance:10-3—106Ω/□ 電阻/resistance:10-6—105Ω 可測晶片直徑(*) φ100mm(標(biāo)配),方形230×220mm(*) *電阻測量誤差(按JJG508-87) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%讀數(shù)±2個(gè)字 外形尺寸 400mm×440mm×120mm 儀器重量 電氣主機(jī):約4kg 測試臺:約5kg 測試環(huán)境 溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%; 無頻干擾 無強(qiáng)光照射 電源 220V±10%(50Hz) 耗≤35W 備注 具備電腦接口 探頭 SZB-Sx系列四探針探頭是采用綜合性能優(yōu)異的分子材料、耐磨和硬度的探針研制的測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定、可靠、準(zhǔn)確度、耐用性能好四探針探頭。所有術(shù)標(biāo)符合家標(biāo)準(zhǔn),同時(shí)符合ASTM標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)規(guī)定。 間距:1±0.01mm; 針間緣電阻≥1000MΩ; 機(jī)械游移率:≤1.0%; 探針壓力:TZT-9A/9B: 12-16牛頓(總力) TZT-9C/9D 5-8 牛頓(總力)